(СТИ НИЯУ МИФИ, 2025) Якубова, М. И.; Молоков, П. Б.
Дипломная работа посвящена определению содержания примесей металлов в гексафториде вольфрама методом масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой. В литературно-аналитическом разделе рассмотрены: свойства гексафторида вольфрама, методы синтеза газа и его применение в микроэлектронной промышленности, аналитическое определение примесей гексафторида вольфрама и методики расчета неопределенностей. В разделе безопасность и экологичность работы был произведен анализ опасных и вредных производственных факторов (вредные вещества, электрический ток, шум и вибрация), были выбраны мероприятия по защите сотрудников от этих факторов, рассчитан потребный воздухообмен. В экономическом разделе произведен анализ экономической эффективности работы, найдена цена за один анализ. Пояснительная записка содержит 121 страницы, 4 раздела, 35 таблиц, 10 рисунков.
