Publication: Разработка методики определения примесей металлов в гексафториде вольфрама
Abstract
Дипломная работа посвящена определению содержания примесей металлов в гексафториде вольфрама методом масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой. В литературно-аналитическом разделе рассмотрены: свойства гексафторида вольфрама, методы синтеза газа и его применение в микроэлектронной промышленности, аналитическое определение примесей гексафторида вольфрама и методики расчета неопределенностей. В разделе безопасность и экологичность работы был произведен анализ опасных и вредных производственных факторов (вредные вещества, электрический ток, шум и вибрация), были выбраны мероприятия по защите сотрудников от этих факторов, рассчитан потребный воздухообмен. В экономическом разделе произведен анализ экономической эффективности работы, найдена цена за один анализ. Пояснительная записка содержит 121 страницы, 4 раздела, 35 таблиц, 10 рисунков.
Description
Keywords
гексафторид вольфрама, примеси металлов, масс-спектрометрия, синтез газа, фторсодержащие газы, высокочистые газы, фторсодержащие соединения, ВКР, выпускная квалификационная работа
Citation
Якубова, М. И. Разработка методики определения примесей металлов в гексафториде вольфрама : выпускная квалификационная работа по специальности 18.05.02 Химическая технология материалов современной энергетики : Уровень образования: Специалитет / М. И. Якубова ; Северский технологический институт НИЯУ МИФИ ; рук. работы П. Б. Молоков .— Северск, 2025 .— 124 с. : ил. — Библиогр.: с. 117-119.