Publication:
Разработка методики определения примесей металлов в гексафториде вольфрама

Simple item page
dc.contributor.advisorМолоков, П. Б.
dc.contributor.authorЯкубова, М. И.
dc.date.accessioned2025-03-25T02:21:18Z
dc.date.issued2025
dc.description.abstractДипломная работа посвящена определению содержания примесей металлов в гексафториде вольфрама методом масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой. В литературно-аналитическом разделе рассмотрены: свойства гексафторида вольфрама, методы синтеза газа и его применение в микроэлектронной промышленности, аналитическое определение примесей гексафторида вольфрама и методики расчета неопределенностей. В разделе безопасность и экологичность работы был произведен анализ опасных и вредных производственных факторов (вредные вещества, электрический ток, шум и вибрация), были выбраны мероприятия по защите сотрудников от этих факторов, рассчитан потребный воздухообмен. В экономическом разделе произведен анализ экономической эффективности работы, найдена цена за один анализ. Пояснительная записка содержит 121 страницы, 4 раздела, 35 таблиц, 10 рисунков.
dc.identifier.citationЯкубова, М. И. Разработка методики определения примесей металлов в гексафториде вольфрама : выпускная квалификационная работа по специальности 18.05.02 Химическая технология материалов современной энергетики : Уровень образования: Специалитет / М. И. Якубова ; Северский технологический институт НИЯУ МИФИ ; рук. работы П. Б. Молоков .— Северск, 2025 .— 124 с. : ил. — Библиогр.: с. 117-119.
dc.identifier.urihttps://openrepository.sti.mephi.ru/handle/123456789/370
dc.language.isoru
dc.publisherСТИ НИЯУ МИФИ
dc.subjectгексафторид вольфрама
dc.subjectпримеси металлов
dc.subjectмасс-спектрометрия
dc.subjectсинтез газа
dc.subjectфторсодержащие газы
dc.subjectвысокочистые газы
dc.subjectфторсодержащие соединения
dc.subjectВКР
dc.subjectвыпускная квалификационная работа
dc.titleРазработка методики определения примесей металлов в гексафториде вольфрама
dc.typeВКР
dspace.entity.typePublication

Files

License bundle

Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
3.58 KB
Format:
Item-specific license agreed to upon submission
Description:
Download

Collections

18.05.02 Химическая технология материалов современной энергетики